垂直腔面发射激光器材料的X射线双晶衍射分析

摘要：

利用X射线双晶衍射方法,测定了垂直腔面发射激光器(VCSEL)材料的衍射回摆曲线,除了主衍射峰("0"级衍射峰外),还观察到一级和二级卫星峰.同时对实验样品的双晶衍射回摆曲线中衍射峰的劈裂现象进行了理论分析."0"级衍射峰半高宽与衬底GaAs的衍射峰半高宽比较接近,表明晶格具有很高的完整性.由这些衍射峰之间的角距离,计算出了VCSEL材料的周期D及Al含量x值.X射线双晶衍射结果表明生长所得结构与设计相符合.

关键词：X射线双晶衍射、回摆曲线、卫星峰

所属期刊栏目：27

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国防重点实验室基金51456.ZS3603

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-36,34