激光能量波动对扫描法尺寸测量精度的影响

摘要：

在激光扫描法尺寸测量系统中,激光能量必须保持稳定.但是,在实际使用中,激光器输出能量会产生波动,导致系统检测精度下降甚至不准确.本文详细分析了能量波动对激光扫描法尺寸测量精度的影响,并给出了激光器输出能量自动测量电路及测量方法,以及能量波动的电补偿方法.该方法在激光外径在线检测仪中得到了很好的应用,实践证明有效、可行.

关键词：激光能量波动、扫描法、尺寸测量

所属期刊栏目：26

分类号：TP274.5(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：81-83