金刚石薄膜的形核研究

摘要：

本文介绍了当前金刚石薄膜形核的现状及用热丝化学气相沉积法在不同的衬底上沉积金刚石膜,对Si、Ni、Cu三种衬底生长的金刚石膜进行研究如何增大形核密度、提高形核质量.得到了制备高密度和高质量的金刚石膜的方法.

关键词：热丝化学气相沉积、形核、金刚石膜

所属期刊栏目：26

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50072045

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：78-80