钙钛矿型介质薄膜的制备及其晶体结构的研究

摘要：

采用脉冲激光沉积法,在SrTiO3基片上,外延生长超导薄膜YBCO、半导体薄膜PB-CO和铁电体薄膜BaTiO3.利用X-射线衍射分析方法,研究了过程参量、基板温度、气体压力和激光通量等因素对膜的晶体结构和电子性能的影响.

关键词：脉冲激光沉积法、外延生长、薄膜

所属期刊栏目：26

分类号：TQ173

资助基金：国家"211"工程建设项目

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：27-28,42