超快电信号测量技术

摘要：

本文综述了近年来超快电信号测量技术的进展.着重介绍了几种超快电信号测量技术,电子束检测技术、光子束检测技术、超快扫描探针显微镜技术等.介绍了这几种技术的基本原理,以及发展和应用情况.

关键词：电子束检测、电光取样技术、扫描探针

所属期刊栏目：25

分类号：TN304.0(半导体技术)

资助基金：中国博士后科学基金69676025

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：6-8