锁相放大技术在等离子腐蚀监测过程中的应用

摘要：

本文介绍了锁相放大技术在等离子腐蚀过程中的应用,详细的论述了锁相放大器的设计过程,并对锁相放大器的性能进行了测试,结果表明,应用锁相放大技术进行终点监测过程中的弱信号提取,有效而可靠,提高了监测的灵敏度.

关键词：锁相放大器、开关电容滤波器

所属期刊栏目：24

分类号：TN911

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-38