二维微机电(MEMS)阵列为移动光谱分析仪打下基础

摘要：

在近红外(NIR)光谱分析领域,一个将便携性与高性能实验室系统的准确性和功能性组合在一起的系统将极大地改进实时分析性能.一块由电池供电的小型手持式光谱分析仪的开发可以实现对工业过程或食品成熟度的评估进行更有效的监控.
多数色散光谱分析测量一开始采用的都是同样的方式.被分析的光通过一个小狭缝,狭缝与一个光栅组合在一起共同控制这个仪器的分辨率.这个衍射光栅专门设计用于以已知的角度反射不同波长的光.这个波长的空间分离使得其它系统可以根据波长来测量光强度.

机标关键词：光谱分析仪、mems、微机电

分类号：TH744.1;TP212;O657.3

在线出版日期：2019-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30