ZnO/SiO2复合薄膜的制备及其阻隔性能研究

摘要：

目的 为了进一步提高氧化锌(ZnO)沉积复合薄膜对氧气的阻隔能力,探索其应用于食品和药品包装材料的可行性.方法 采用射频磁控溅射技术(RF),以ZnO和二氧化硅(SiO2)为靶材,在PET塑料表面同时沉积,制备ZnO/SiO2复合薄膜包装材料,并详细分析SiO2的引入对ZnO沉积膜微观结构和阻隔能力的影响,优化ZnO/SiO2的制备工艺.结果 SiO2的引入,使ZnO纳米颗粒的形状由片状燕麦变成了球形,当功率密度比Psio2/Pzno为0.67,氩气流量为20 mL/min,沉积时间为20 min,工作气压为0.5 Pa时,ZnO/SiO2复合薄膜的氧气透过率降低为0.462 mL/(m2·d),水蒸气透过率有所增加,为0.367 g/(m2·d).结论 引入合适比例的SiO2,可有效提升ZnO沉积层对氧气渗入的阻隔能力,但SiO2引入量过高时,会加剧纳米裂纹,对复合薄膜的阻隔能力不利.

关键词：射频磁控溅射、ZnO/SiO2复合薄膜、透氧率、透水率

所属期刊栏目：41

分类号：TB487;TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：贵州省教育厅青年科技人才成长项目;贵州民族大学一般项目

在线出版日期：2020-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：107-112