脉冲微波表面波PECVD在有机PET表面沉积DLC薄膜的阻隔性研究

摘要：

目的 探讨使用脉冲微波表面波等离子体辅助化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)材料表面沉积类金刚石薄膜作为阻隔层的可行性.方法 以C2H2为单体,氩(Ar)为放电气体,采用脉冲微波表面波等离子体化学气相沉积(PECVD)技术在有机PET材料表面沉积类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜.研究工艺参数,如脉冲微波放电功率、工作气压、单体与工作气体的体积比等,对DLC薄膜沉积速率和阻隔性能的影响.通过傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、原子力显微镜(AFM)、氧气和水蒸气透过率测试仪等对薄膜结构与性能进行表征.结果 DLC薄膜的结构和成分随着等离子体放电工艺参数的变化而改变,造成其阻隔性能也随之发生变化.PET表面沉积纳米级DLC薄膜后,氧气透过率和水蒸气透过率可以分别降至0.58 mL/(m2·d)和2.5 g/(m2.d).结论 DLC薄膜对氧气和水蒸气都表现出良好的阻隔性,可以应用于食品、药品的阻隔包装.

关键词：微波表面波、等离子体辅助化学气相沉积、类金刚石薄膜、高阻隔聚酯、乙炔

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分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金11775028,11875090;北京市自然科学基金重点项目KM201510015009;北京市协同创新项目CGPT15208

在线出版日期：2019-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：72-80