薄膜透气性测试装置3层密封结构的研究

摘要：

基于压差法的薄膜透气性测试装置，在压力和温度检测器的检测性能给定和环境温度相对稳定的情况下，影响测试结果的主要因素是测试装置的密封性能。为了同时提高测试装置的密封性能和测试精度，提出了3层密封结构设计的模型，建立了相应的数学模型，并给出了因泄漏而引起压强变化的特性和仿真结果。为3层密封结构薄膜透气性测试装置的实际应用提供了理论依据。

关键词：透气性、测试装置、3层密封结构、数学模型

所属期刊栏目：32

分类号：TB486.03;TB487(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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