溅射气氛中O2/Ar体积比对AlxOy薄膜结构及性能的影响

摘要：

为了研制高阻隔性和适合微波加热的包装材料,在PET基底上采用射频电源,以纯Al为靶.氧气为反应气体.高纯氩气为等离子体,磁控溅射AlxOy/PET包装薄膜.红外光谱(IR)分析表明,氧化铝IR谱的峰值、强度和带宽等规律性的变化与通入的氧气量有关.XPS研究发现.Al-O伸缩振动峰的渡数越高,AlxOy中氧原子的含量越高.薄膜的阻隔性测试结果表明,AlxOy膜的Y值越大,其阻隔性能越好.

关键词：AlxOy/PET薄膜、磁控溅射、氧氩比、阻隔性

所属期刊栏目：31

分类号：TB333;TB484.3(工程材料学)

资助基金："十一五"国家科技支撑计划项目2006BAD05A05;黑龙江省教育厅科学技术研究项目11541079

在线出版日期：2010-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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