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10.3969/j.issn.1001-3563.2008.10.026

氧化铝薄膜磁控溅射工艺参数对PET基体温度的影响

引用
研究了在柔性基体PET上磁控溅射氧化铝薄膜的过程中,离子刻蚀、负偏压和溅射功率对基体温度的影响,结果表明3个参数都对基体温度产生影响,为了防止PET的受热变形,离子刻蚀功率应控制在500W以下,负偏压应控制在200V以下,溅射功率应低于1000W.

磁控溅射、陶瓷薄膜、基体温度

29

TB43;TB484.5(工业通用技术与设备)

"十一五"国家科技支撑计划项目课题资助2006BAD05A05;印刷包装材料与技术北京市重点实验室开放课题KF200705

2008-11-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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1001-3563

50-1094/TB

29

2008,29(10)

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