10.3969/j.issn.1001-3563.2007.11.011
高阻隔透明陶瓷膜蒸镀技术
对高阻隔透明陶瓷膜的发展概况及应用进行了综述,介绍了陶瓷膜的真空蒸镀技术、PECVD蒸镀技术的原理、特点和应用,并对陶瓷膜蒸镀技术的发展趋势进行了展望.
高阻隔、透明陶瓷膜、蒸镀技术
28
TB485.5;TB484.5(工业通用技术与设备)
国家科技支撑项目2006BAD05A05
2008-01-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
27-30
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10.3969/j.issn.1001-3563.2007.11.011
高阻隔、透明陶瓷膜、蒸镀技术
28
TB485.5;TB484.5(工业通用技术与设备)
国家科技支撑项目2006BAD05A05
2008-01-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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