SiOx包装阻隔薄膜的发展现状及其制备方法

摘要：

SiOx阻隔薄膜具有优异的阻隔性,并且光透过性和微波透过性好,在阻隔包装领域的应用前景广泛,介绍了SiOx包装阻隔薄膜的制备方法:物理气相沉积,等离子体聚合及大气下等离子体聚合等.

关键词：SiOx薄膜、阻隔性、物理气相沉积、等离子体化学气相沉积

所属期刊栏目：26

分类号：TQ320.72+1;TB487

在线出版日期：2006-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：76-78