融石英光学材料离子束抛光去除特性研究

摘要：

为研究融石英光学材料表面离子束抛光的去除特性,在分析法拉第扫描的离子束电流密度分布参数与去除函数间关系的基础上,建立基于法拉第扫描的离子束抛光去除函数模型.采用等间距采集数据进行法拉第扫描试验,对采样数据进行高斯拟合,得到离子束电流密度分布.对法拉第扫描方法和线扫描方法对比分析研究.结果 表明:基于法拉第扫描对融石英材料进行离子束抛光方法,可缩短离线计算去除函数时间,提高抛光效率;去除函数峰值的去除率Rmax和法拉第扫描的电流密度峰值Jmax间的关系Rmax=1.596 2Jmax.

关键词：离子束抛光、去除函数、法拉第扫描、峰值去除率

所属期刊栏目：42

分类号：TB321(工程材料学)

资助基金：国家科技重大专项2017ZX04022001-205-001;宁波市自然科学基金项目201601HJ-B01286

在线出版日期：2019-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12