包覆型磁性磨粒的制备工艺及性能研究

摘要：

针对黏接法和烧结法制备磁性磨粒工艺过程中的破碎难题,采用化学法制备以Fe3O4为核、SiO2为壳的包覆型磁性磨粒.通过透射电镜、X射线衍射、红外光谱和磁感应强度对该磨粒进行性能分析,用制备出的包覆型磁性磨粒加工硅片,并进行加工性能研究.结果表明,包覆型磁性磨粒的制备工艺简单,性能良好,且用此包覆型磁性磨粒可以有效加工硅片.

关键词：包覆型磁性磨粒、性能分析、硅片加工试验

所属期刊栏目：41

分类号：TG74(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：国家自然科学基金51175365;山西省自然科学基金201701D12076

在线出版日期：2018-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：101-104