预热处理温度对低温制备Mn掺杂ZnO薄膜结构和阻变性能的影响

摘要：

以水合乙酸锌、水合乙酸锰为前驱体，利用溶胶-凝胶旋涂法在p+-Si衬底上制备Mn掺杂的ZnO阻变薄膜（MZO）。研究工艺中预热处理温度对薄膜的微观结构、阻变特性的影响，分析了薄膜高阻态和低阻态的导电机理。结果表明：经250、300℃预热处理的MZO薄膜孔洞较多，而经350℃预热处理的MZO薄膜致密，无孔洞且呈c轴择优取向生长；经不同温度预热处理所制备的Ag/MZO/p+-Si器件均呈双极性的阻变特性，但经350℃预热处理的器件样品具有更显著的阻变行为和更高的高、低电阻比RHRS/RLRS（104~106）；器件在高阻态的低压区为欧姆导电，高阻态高压区为肖特基发射电流传导，在低阻态为空间电荷限制电流（SCLC）传导。

关键词：Mn掺杂ZnO、溶胶凝胶、阻变特性、预热处理

分类号：TM242(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金51262003；广西信息材料重点实验室基金桂科能1110908-10-Z

在线出版日期：2015-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：36-39,40