多层流延坯片的叠层工艺研究进展

摘要：

流延坯片的叠层是多层陶瓷技术中最为重要的工艺之一.叠层工艺直接影响到电子器件三维结构(如通道、腔室及隔膜等)的质量.对叠层工艺如热压法叠层及其改进型技术、粘合基叠层、溶剂基叠层等进行综述,并对各种叠层方法的特点、研究进展及应用进行叙述.

关键词：流延坯片、叠层、多层陶瓷技术、三维结构、应用

所属期刊栏目：35

分类号：TQ174

资助基金：973计划2011CB612209

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-102