玻璃/铝/玻璃三层结构阳极键合机理分析

摘要：

对玻璃/铝/玻璃3层结构进行阳极键合试验,分析键合温度和电压对键合电流的影响；通过扫描电镜对键合界面的微观结构进行分析,表明键合界面良好；对玻璃/铝/玻璃3层结构阳极键合机理进行探讨,认为键合界面处接通电流瞬间产生的强大的静电场力是实现玻璃/铝/玻璃界面紧密接触并形成良好界面键合的主要原因.

关键词：阳极键合、硼硅玻璃、铝、界面

所属期刊栏目：35

分类号：TG453(焊接、金属切割及金属粘接)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50375105

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：32-34