快速退火工艺对钛酸铋薄膜电学性能影响的研究

摘要：

采用快速退火工艺处理的钛酸铋铁电薄膜,矫顽场Ec=9kV/cm,在室温下剩余极化强度 Pr=8μC/cm2;退火提高了钛酸铋薄膜的介电常数和材料的绝缘性,0.1M Hz附近薄膜材料的介电损耗tgδ<0.1.

关键词：极化强度、C-V特性、矫顽场、快速退火、介电常数

所属期刊栏目：25

分类号：TM20;TM22(电工材料)

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-37