基于Al／MoOx纳米复合薄膜的含能半导体桥研究

摘要：

使用微细加工和磁控溅射技术将Al/MoO x 纳米复合薄膜集成于半导体桥（ SCB ），制成含能半导体桥SCB-Al/MoO x 以提高SCB的点火能力。薄膜的SEM、DCS和XPS结果表明，复合薄膜成膜质量好，层状结构清晰，放热量可达3200 J/g，达到理论值的68％（理论放热量为4703 J/g），MoOx 薄膜含有32％的MoO3、37％的Mo2O5以及31％的MoO2。电容激励发火实验表明：相同激发条件下， SCB-Al/MoOx 反应终止时间较SCB显著缩短，能量输出效率高于SCB ，发火时溅射出的火花量明显增多，持续时间显著延长，使用原子发射双谱线测温法得到的等离子体温度亦高于SCB。

关键词：Al/MoOx 纳米复合薄膜、含能半导体桥、点火起爆特性、等离子体测温

分类号：TJ51;TJ450.1(爆破器材、烟火器材、火炸药)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51201091

在线出版日期：2014-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

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