光学望远镜镜片旋转镀膜修正挡板的仿真设计

摘要：

目的 提高新疆天文台南山观测基地ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性指标.方法 通过建立旋转行星夹具系统的膜厚分布模型,利用高精度数值计算,基于ZZS1800-1/G真空镀膜机,研究镀膜机结构参数与镜面几何结构对膜厚均匀性的影响,分析蒸发源位置、望远镜镜片参数与修正挡板形状的关系,并进行修正挡板的仿真设计与验证.结果 在旋转行星夹具系统中,蒸发源与原点的距离对半径较大的镜面膜厚均匀性的影响最为明显.该距离600 mm以内,在镜面半径小于100 mm时,膜厚均匀性均低于1.7％;镜面半径为600 mm时,膜厚均匀性最佳,为23％.加入修正挡板后,膜厚均匀性理论计算值为0.035％.在镀半径为600 mm的镜片时,为保证均匀性小于1％,修正挡板的加工形变量要控制在2.2％以内.结论 加入修正挡板可有效提高ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性,本文建立的仿真模型可为ZZS1800-1/G真空镀膜机在实际镀膜工作时修正挡板的设计提供理论参考依据.

关键词：真空镀膜、蒸发源、光学薄膜、膜厚均匀性、修正挡板、数值分析

所属期刊栏目：51

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：新疆维吾尔自治区自然科学基金2018D01B39

在线出版日期：2022-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：342-347