电沉积增材制造微镍柱的工艺研究

摘要：

目的 探究电沉积工艺参数对无掩模定域性增材制造微镍柱的微观形貌、直径和沉积速率的影响.方法 采用尖锥形铂丝作为阳极、铜板作为阴极,电镀液从阳极和导流腔之间的微缝隙以射流方式流到阴极表面,电化学沉积增材制造微镍柱.采用体视显微镜和扫描电子显微镜对镍柱微观结构进行检测.通过单因素试验研究极间电压和初始极间距对微镍柱微观形貌、沉积速率和直径的影响规律.结果 初始极间距为10μm、电压为3.8～4.4 V时,可以制备出直径均匀、圆柱度较高的微镍柱;电压增至4.7 V时,微镍柱形状不规则,常伴有分叉现象或呈瘤状沉积.极间电压从3.8 V增加到4.7 V时,微镍柱体积沉积速率由539μm3/s增长至4159μm3/s,直径由55μm增长至102μm.此外,当极间电压为4.1 V、初始极间距为20～40μm时,随着初始极间距的增大,微镍柱顶端从圆柱形逐渐转向锥形沉积.结论 极间电压对微镍柱微观形貌、沉积速率和直径的影响明显,初始极间距主要影响微镍柱顶端的沉积生长形状.

关键词：增材制造、电沉积、微镍柱、极间距、极间电压

所属期刊栏目：50

分类号：TQ153;V261.8

资助基金：国家自然科学基金;辽宁省自然科学基金

在线出版日期：2021-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：95-101