化学气相沉积钨涂层的研究现状与进展

摘要：

化学气相沉积钨涂层具有工艺简单、技术成熟度高、涂层综合质量优异等特点,广泛应用于国防、航天、核工业等领域.首先介绍了化学气相沉积钨涂层的原理和特点,重点讨论了化学气相沉积钨涂层的工艺及应用研究现状,包括化学气相沉积钨涂层微观组织控制工艺及在耐辐射、耐磨耐蚀和高温防护领域的应用,同时对新型化学气相沉积钨涂层技术的发展进行了展望.一是改善现有工艺存在的反应气源与反应产物毒性大等问题,满足绿色环保的发展要求;二是改善现有工艺存在的沉积温度高、沉积速率偏低等问题,实现在不同衬底表面的高效、高质量沉积;三是改善现有化学气相沉积钨涂层结构与功能单一等问题,满足构件对钨涂层高性能和多功能的需求.

关键词：化学气相沉积、钨涂层、微观组织、耐辐射、耐磨、耐蚀、高温防护

所属期刊栏目：49

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

在线出版日期：2020-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：141-148