刀具基体表面织构化对硼掺杂金刚石 薄膜性能的影响

摘要：

目的 分析硼掺杂织构金刚石薄膜的微观组织结构和表面质量,并探究刀具基体表面不同织构对薄膜结合强度和切削性能的影响.方法 通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法,分别在表面有椭圆织构、沟槽织构和无织构的硬质合金刀具上制备硼掺杂金刚石薄膜(BDD).运用扫描电镜(SEM)观察各薄膜表面及横截面形貌;使用白光干涉表面三维轮廓仪观测各薄膜表面粗糙度;通过拉曼光谱仪检测各薄膜组织结构;通过铣削试验分析各薄膜刀具的切削性能.结果 经测试,硼掺杂无织构金刚石薄膜(Boron doped un-textured diamond film,BDUTD film)的粗糙度为299.9 nm,硼掺杂椭圆织构金刚石薄膜(Boron doped elliptical texture diamond film,BDETD film)及硼掺杂沟槽织构金刚石薄膜(Boron doped groove texture diamond film,BDGTD film)的粗糙度分别为333、323.9 nm,粗糙度略有增加.三种金刚石薄膜的厚度均为18μm,在相同切削条件下,经过铣削碳/碳-碳化硅(C/C-SiC)复合材料420 s后,BDUTD薄膜的剥落程度及其刀具磨损程度明显大于BDETD薄膜和BDGTD薄膜.结论 硬质合金刀具基体表面织构化能够有效提高薄膜的结合强度,从而提高刀具的耐磨性.其中硼掺杂沟槽织构金刚石薄膜的切削性能相对更好,与普通硼掺杂金刚石薄膜刀具相比,硼掺杂织构金刚石薄膜刀具具有更长的使用寿命.

关键词：热丝化学气相沉积、金刚石薄膜、结合强度、铣削试验、表面织构、涂层刀具

所属期刊栏目：49

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金;河南省自然科学基金;高性能复杂制造国家重点实验室开放基金

在线出版日期：2020-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：153-160