金属玻璃薄膜的研究进展

摘要：

金属玻璃因具有良好的软磁特性、塑性好、耐磨损、耐腐蚀、表面光滑等特点,近几十年来受到广泛关注.块体状金属玻璃在室温下具有宏观脆性和加工性能差的缺点,限制了其应用,而薄膜态金属玻璃易于实现,并且可以克服块体玻璃本身的脆性缺陷,因而成为研究热点.综述了近十年来金属玻璃薄膜的研究成果,介绍了金属玻璃薄膜的制备方法,包括已经在工业中投入使用的物理气相沉积技术和电镀法,其中磁控溅射方法和电弧离子镀应用较多.阐述了金属玻璃薄膜的不粘性、抗疲劳性、耐腐蚀性、生物相容性、耐磨性、光学性能和催化性能以及相关影响因素,发现Zr基MGTF能够同时表现出多种性能,综合性能最佳,薄膜的不粘性值得特殊关注.表述了金属玻璃薄膜在改善合金性能、生物医疗领域和半导体领域的应用,在生物医用材料上镀膜可提高生物医用材料的不粘性和抗菌性,加速伤口愈合,具有很大潜力.最后,通过总结金属玻璃薄膜投入使用可能会面临的挑战和需要解决的问题,对今后的研究趋势进行了展望.

关键词：金属玻璃薄膜、磁控溅射法、不粘性、抗疲劳性、生物医用材料

所属期刊栏目：49

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：顺德区科技计划项目;国家自然科学基金项目;国家重点研发计划项目

在线出版日期：2020-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：11-18