金属含量对Co-TiO2纳米颗粒复合薄膜微观结构及其性能的影响

摘要：

目的 使Co-TiO2纳米颗粒复合薄膜同时具备高的磁化强度及电阻率,从而实现更好的高频软磁特性.方法 通过磁控共溅射的方法,在不同金属靶功率下制备了Co-TiO2纳米颗粒复合薄膜,并探究金属含量对薄膜的微观结构、表面形貌、电学和静态磁学性能的影响.结果 薄膜中的金属颗粒被非晶态的TiO2分散.金属含量的增加可以显著提高纳米颗粒薄膜中金属颗粒的结晶性,降低薄膜电阻率,并且通过改变金属含量,可使薄膜逐渐从超顺磁态向铁磁态转变,达到精确调控纳米颗粒复合薄膜的磁学和电学性能的目的.结论 在金属含量达到54％时,实现了高电阻率和高饱和磁化强度共存,有望得到具有高频软磁特性的纳米颗粒复合薄膜.

关键词：纳米颗粒复合薄膜、Co、TiO2、磁学、电学、高频软磁特性

所属期刊栏目：48

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：天津市自然科学基金18JCYBJC18000

在线出版日期：2020-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：54-58