高熵薄膜和成分梯度材料

摘要：

针对高熵合金薄膜的研究现状,围绕成分设计、制备工艺、相结构、力学性能、高温性能、耐蚀性能等方面进行了讨论.分析了合金薄膜相结构受氮气流率、基底偏压、基底温度等工作参数影响的规律.其力学性能随着C、B、N等小半径非金属原子含量的增加而强化,文中从固溶强化理论角度进行了分析和解释.同时高熵合金薄膜展现出了优异的高温和耐蚀性能,在高温、强酸等极端条件下具有良好的稳定性.此外,高熵材料成分复杂且体系多样化,可通过高通量制备实现多组分材料的平行制备,为高通量筛选提供一个高效平台.针对未来可用于高熵合金高通量制备的几种技术进行了讨论.

关键词：高熵合金薄膜、磁控溅射、相结构、力学性能、成分、结构梯度材料

所属期刊栏目：48

分类号：TG174.445(金属学与热处理)

在线出版日期：2019-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：前插3-前插4,98-106,117