金刚石表面刻蚀技术研究进展

摘要：

金刚石在量子信息器件、生物医药载体、生物传感器、高性能电极、化学分析传感器等诸多领域具有极大的应用价值,金刚石表面刻蚀技术是实现金刚石上述应用的关键所在.常见的刻蚀技术可根据刻蚀剂的物相分为熔盐刻蚀、气相刻蚀、固相刻蚀、气固相混合刻蚀、等离子刻蚀这五类.熔盐刻蚀是利用熔融离子化合物对金刚石表面进行刻蚀,其刻蚀机理主要是金刚石碳原子的氧化过程.气相刻蚀是利用氧气等气体与金刚石表面发生气固相反应,使金刚石中的碳原子变为一氧化碳等气态化合物进行刻蚀.气固相混合刻蚀主要是以镍、铂等金属作为催化剂,辅助氢气与金刚石发生反应生成甲烷,对金刚石进行刻蚀.固相刻蚀是金刚石合成的逆过程,主要用铁钴镍及其盐对金刚石进行催化石墨化,之后这些金属作为溶剂形成碳固溶体对金刚石进行刻蚀.等离子体刻蚀主要是用氧等离子体与金刚石发生反应,对金刚石进行刻蚀.文章着重介绍了这五种金刚石表面刻蚀技术近年来的研究进展,简要分析了这些技术的原理、特点与用途.

关键词：金刚石、表面刻蚀、等离子刻蚀、熔盐刻蚀、气相刻蚀、固相刻蚀

所属期刊栏目：47

分类号：TQ163

资助基金：河南省教育厅自然科学基金资助项目15A430022

在线出版日期：2018-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：90-95