PVD涂层技术制备类金刚石薄膜及性能研究综述

摘要：

介绍了采用物理气相沉积(PVD)技术制备类金刚石涂层的方法,进而论述了涂层的摩擦磨损和结合力等性能的研究现状和发展前景.分析并综述了类金刚石涂层的技术发展,以及制备类金刚石薄膜的方法和影响其性能的多种要素.表面涂有类金刚石薄膜的工件具有较高的硬度、良好的热传导率、极低的摩擦系数、优异的电绝缘性能等.类金刚石薄膜(DLC Films)是近年来兴起的一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料,因其优异的减摩和抗磨性能,在摩擦学领域获得了广泛应用,是一种与金刚石涂层性能相似的新型薄膜材料.DLC涂层的性能研究大多集中在它的摩擦学特性和结合力性能,并且作为优质的涂层材料已被广泛应用于汽车、模具、刀具等领域.

关键词：类金刚石、摩擦系数、结合力、物理气相沉积

所属期刊栏目：45

分类号：TG174.442(金属学与热处理)

资助基金：上海市联盟计划资助项目LM2014235,LM201374,LM201308;上海市教育委员会科研创新项目12YZ160;上海应用技术学院研究生课程建设基金项目101YM130007;上海市大学青年教师培训项目ZZyyy12003;Supported by Shanghai Alliance Program LM2014235,LM201374,LM201308;Shanghai City Board of Education Research and Innovation Project 12YZ160;Shanghai Institute of Technology Graduate Course Construction Funds 101YM130007;Program for Training Youth Teachers of Universities in Shanghai CityZZyyy12003

在线出版日期：2016-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：115-123