10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.08.018
不同氩气气压下钒靶HIPIMS放电特性的演变
高功率脉冲磁控溅射、氩气气压、V靶、放电靶电流、放电光谱特性、V薄膜
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TG174.444(金属学与热处理)
中央高校基本科研业务费专项资金项目资助2572015CB07;黑龙江省科学基金项目资助QC2016053;中国博士后科学基金项目资助2016M590273;国家自然科学基金项目资助U1330110,51175118;黑龙江省教育厅科学技术研究项目资助12523008;The Fundamental Research Funds for the Central Universities 2572015CB07;The Science Foundation of Heilongjiang Province of China QC2016053;The China Postdoctoral Science Foundation 2016M590273;The National Natural Science Foundation of China U1330110 and 51175118;The Scientific Research Fund of Heilongjiang Provincial Education Department 12523008
2016-11-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
103-109