聚晶金刚石薄膜合成工艺的研究

摘要：

目的 优化聚晶金刚石(PDC)薄膜的合成工艺参数.方法 以保温时间、冷却时间、烧结温度为变量,设计PDC薄膜合成正交实验,以旁热式组装合成块进行烧结,测定PDC烧结成品的硬度、磨耗比、电阻值,确定每组烧结品的完整数,并通过综合平衡法对正交实验结果进行分析.结果 保温时间、冷却时间、烧结温度在不同程度上影响PDC的综合质量.结论 最佳工艺参数为:合成温度1350℃,加热时间5 min,冷却时间11 min.

关键词：聚晶金刚石薄膜、合成工艺、正交实验

所属期刊栏目：43

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2014-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：114-117