薄膜理想台阶的制备方法研究

摘要：

目的 研究台阶的形貌对台阶仪测试的影响,准确测试薄膜的厚度.方法 分析制备台阶中存在的问题,针对这些问题设计了中轴线位置带掩膜条的掩膜板,并采用该新型掩膜板,在不同衬底上制备台阶,用台阶仪对薄膜的厚度进行测定.结果 在薄膜中轴线附近做出的台阶,坡度陡峭,上下表面清晰.Mo衬底上制备出的薄膜厚度重复性较好;单晶硅衬底上制备的薄膜表面粗糙度较大;石英衬底上制备薄膜形成的台阶上下表面均较为平滑.结论 使用新型掩膜板在石英衬底上制备出理想台阶,可较为准确地测试薄膜的厚度.

关键词：薄膜、膜厚、边缘效应、理想台阶、粗糙度

所属期刊栏目：42

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：中国工程物理研究院科技发展基金资助项目2010A0301011China Academy of Engineering Physics Science and Technology Development Fund Subsidize Program2010A0301011

在线出版日期：2014-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：113-118