模具钢微细蚀刻的侧蚀研究及其工艺优化
目的 研究HNO3浓度、喷淋压力、掩膜间隙、加工时间对侧蚀量的影响规律.方法 设计正交实验,测定蚀刻后的侧蚀量,采用极差分析、方差分析法对侧蚀量进行分析,通过验证性实验进行验证.结果 侧蚀量随加工时间的延长以及喷淋压力、加工时间的增大而增大,随HNO3浓度的增大而减小.侧蚀量最小的工艺是:HNO3浓度为1.8 mol/L,喷淋压力为0.2 MPa,掩膜间隙为50 μm,蚀刻时间为2min.结论 加工时间对侧蚀量有显著性影响,喷淋压力对侧蚀量影响较大,其次是掩膜间隙和HNO3浓度.验证性试验证明最优工艺方案可行.
模具钢、微细蚀刻、侧蚀量、正交实验
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TG176(金属学与热处理)
国家自然科学基金重点资助项目U1134003;国家青年科学基金资助项目51205066Supported by the State Key Program of National Natural Science of ChinaU1134003;the National Science Foundation for Young Scholars of China51205066
2014-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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