厚钛过渡层缓解铜基上热丝CVD金刚石薄膜内应力

摘要：

以紫铜为基体,在紫铜上先采用磁控溅射技术镀一层金属钛,再以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛过渡层上合成金刚石薄膜,研究不同钛过渡层厚度对金刚石薄膜质量的影响.利用X射线(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)、扫描电镜(SEM)分析薄膜的结构、成分和表面形貌,用能谱仪(EDS)对热处理前后样品的表面进行了元素分析.研究发现,当钛过渡层厚度为3μm时,生成的金刚石薄膜受到较大内应力而发生破裂；当钛过渡层厚度为25 μm时,金刚石薄膜质量较好,薄膜受一定内应力,但没有破裂；850℃左右保温热处理12h,铜原子与钛原子发生了扩散.

关键词：金刚石薄膜、钛过渡层、内应力、热丝化学气相沉积

所属期刊栏目：42

分类号：TG174.444;TB43(金属学与热处理)

资助基金：广东省科技计划项目2011A081301003

在线出版日期：2013-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23