氮化铜薄膜制备中氮气比例对其结构及微观力学性能的影响

摘要：

采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响.结果表明:低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差；随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生长晶面从(111)晶面转变为(100)晶面,晶粒尺寸变小,显微硬度增加,弹性模量则是先增加,后减小.

关键词：氮化铜薄膜、射频磁控溅射、微结构、纳米力学

所属期刊栏目：42

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金项目51272033

在线出版日期：2013-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-18,31