TiO2/SiO2一维光子晶体的制备及其光子带隙特性

摘要：

以普通载玻片为基体,采用溶胶-凝胶法制备了Ti02/Si02一维光子晶体,对该结构的截面形貌、各层厚度及结晶形态、反射谱特性进行了分析.结果表明:TiO2和SiO2膜的平均厚度分别为69 nm和83 nm,结晶形态分别为锐钛矿和无定形态；该结构在波长544 nm处的反射率达到了94％,且其FWHM=194 nm(486～ 680nm).运用传输矩阵法对该结构进行仿真计算,得到的计算结果与测试结果趋于一致.最后讨论了入射角对一维光子晶体反射谱的影响.

关键词：溶胶-凝胶法、一维光子晶体、反射光谱

所属期刊栏目：42

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家"863计划"2012AA7024034;710装备预研A-12-39;研究生自助探索项目2013zzts158

在线出版日期：2013-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：11-14,28