氮气流量对ZrN/Zr薄膜色度特性的影响

摘要：

采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响.结果表明:随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5×10-10～3.5×10-10 m3/s范围内时对薄膜的沉积速率影响很小;随着氮气流量的变化,薄膜的颜色呈现规律性的变化,在氮气流量2.5×10-10～3.5×10-10 m3/s范围内,可以制备出色彩亮丽的仿金薄膜ZrN,且膜层致密.

关键词：氮气流量、ZrN/Zr薄膜、色度、沉积速率、中频孪生靶

所属期刊栏目：42

分类号：TG174.444;O484.4(金属学与热处理)

资助基金：河北省自然科学基金项目E2009000646;河北农业大学社科基金和理工基金LG20120101

在线出版日期：2013-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-15,41