化学机械抛光液的发展现状与研究方向
简述了化学机械抛光液的主要成分及其作用;综述了近年来国内外化学机械抛光液的发展现状,主要介绍了二氧化硅胶体抛光液、二氧化铈抛光液、氧化铝抛光液、纳米金刚石抛光液.最后指出,化学机械抛光液未来应向环保化、精细化以及专门化的方向发展.
化学机械抛光液、二氧化硅、二氧化铈、氧化铝、纳米金刚石
41
TG175(金属学与热处理)
河南省教育厅自然科学基金12A430005
2013-01-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
95-98
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化学机械抛光液、二氧化硅、二氧化铈、氧化铝、纳米金刚石
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TG175(金属学与热处理)
河南省教育厅自然科学基金12A430005
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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