Sb2O3/CeO2共掺杂ZnO薄膜的研究

摘要：

采用射频磁控溅射技术制备Sb2O3/CeO2共掺杂ZnO薄膜,研究了薄膜的结构及紫外光吸收性能.结果表明:Sb2O3和CeO2共同掺入ZnO薄膜后,ZnO(002)晶面的XRD衍射峰强度明显下降,ZnO薄膜呈混晶方式生长；共掺杂ZnO薄膜的紫外吸收性能明显优于纯ZnO薄膜,Sb对掺杂ZnO薄膜的结构和紫外吸收性能的影响起主导作用,Ce起进一步的强化作用.

关键词：磁控溅射、ZnO薄膜、掺杂、结构、紫外吸收

所属期刊栏目：40

分类号：TG174.444;O484.4(金属学与热处理)

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-64