316L不锈钢表面沉积类金刚石膜的拉曼光谱分析及润湿性研究

摘要：

采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)法,在316L不锈钢基体表面以不同的沉积气压和射频功率制备出类金刚石(DLC)薄膜.拉曼光谱分析结果表明:所沉积的DLC膜具有典型的类金刚石膜结构,薄膜中sp#键含量随工艺参数的不同而不同,射频功率100 W时,sp#键含量随沉积气压增高而降低.接触角测试结果表明:DLC膜沉积后,316L不锈钢表面与生理盐水和去离子水的接触角均变大,润湿性降低.

关键词：316L不锈钢、类金刚石膜、拉曼光谱、润湿性

所属期刊栏目：40

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金资助项目SKLTKF08A01

在线出版日期：2011-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-57,61