硝酸型酸性蚀刻液蚀刻工艺的研究

摘要：

研究了以硝酸为主成分的酸性蚀刻液.采用静态蚀刻的实验方法,通过测定蚀刻液对印制电路板铜箔的蚀刻速率和侧蚀量,考察了几个独立因素的影响.结合正交实验得出硝酸型酸性蚀刻液的最佳组分及工艺条件为:Cu2+质量浓度为(140±10)g/L,硝酸浓度为(2.5±0.5)mol/L,温度为(50±5)℃.在该条件下,静态蚀刻速率可达到10 μm/min,且侧蚀量小.此外,还考察了抑烟剂对蚀刻速率的影响.

关键词：硝酸、硝酸铜、蚀刻液

所属期刊栏目：39

分类号：TG176;TN405(金属学与热处理)

资助基金：湖南省环境科学学科建设项目资助2006180

在线出版日期：2010-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：87-89