水平震荡机械研磨电镀铜工艺研究

摘要：

在传统酸性镀铜液中加入玻璃球,利用SEM和XRD考察了玻璃球数量与震荡频率对机械研磨电镀工艺的影响,并探讨了水平震荡频率和玻璃球数量对镀层微观结构的影响机理.实验结果表明:固定玻璃球数量为80个,震荡频率为2.5～4.2 Hz时,所得镀层的晶粒尺寸随着震荡频率的增加而显著降低;固定水平震荡频率为4.2 Hz,玻璃球数量为40～120个时,随着玻璃球数量的增加,所得镀层的晶粒尺寸先降低后略有增大,但仍明显小于传统镀层;水平震荡机械研磨电镀铜层具有(111)择优取向,但择优取向程度受水平震荡条件影响.

关键词：水平震荡、机械研磨、电沉积、镀铜、镀层结构

所属期刊栏目：39

分类号：TQ153.1

资助基金：江西省自然科学基金资助项目2008GQC0038

在线出版日期：2010-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：74-77