类金刚石薄膜的紫外可见区光学特性研究

摘要：

在类金刚石薄膜(DLC)光学特性的研究方面,主要工作集中在红外区光学特性,在可见区和紫外区光学特性研究方面存在空白;鉴于此详细研究了采用脉冲电弧沉积DLC薄膜在可见区和紫外区的光学特性.利用脉冲电弧离子镀技术,在石英基片上和不同工艺条件下制备了类金刚石薄膜,研究了类金刚石薄膜在紫外和可见区的光学常数、光学透过率和光学能隙.结果表明,主回路电压是薄膜的光学常数变化的主要影响因素,低主回路电压下制备的类金刚石薄膜具有较低消光系数和折射率;不同的工艺条件下制备的类金刚石折射率从2.56变化到1.89(波长400nm);沉积速率对薄膜的折射率和消光系数没有明显的影响;DLC薄膜的光学能隙在3.95eV左右;紫外区和可见区的透过率谱和椭偏仪测得的光学常数相互一致.

关键词：类金刚石薄膜、光学常数、光学能隙、透过率

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分类号：TG174.444;O484.4(金属学与热处理)

资助基金：西安工业大学校长基金ZSKJ200705,01000802

在线出版日期：2009-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：23-25