类金刚石膜的物理特性及应用

摘要：

类金刚石膜(DLC)是由无定形碳和金刚石相混合组成的碳材料,类金刚石膜具备许多优异的性能,包括高耐磨性、低摩擦系数、热稳定性、红外透光性、高电阻、低介电常数及生物相容性,使其适合许多领域的应用,因此,引起了人们极大兴趣.现在已经应用到很多领域.总结了DLC在机械、电子、光学和医学等领域的应用状况以及存在的问题.

关键词：类金刚石膜(DLC)、物理性能、应用

所属期刊栏目：35

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：河南省教育厅自然科学基金2000510462013

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：76-78