磁控反应溅射沉积CrN薄膜的抗氧化性研究

摘要：

通过磁控反应溅射在H1模具钢表面沉积了CrN薄膜.用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)观察了试样的表面形貌,进行了物相分析,研究了CrN薄膜的抗氧化性能,讨论了膜层的抗氧化行为和机制.结果表明:在500℃以下,CrN膜层具有良好的抗氧化性,能大大提高基体的抗氧化性能.当温度超过600℃时,由于膜层产生剥落而失去使用性能.

关键词：磁控溅射、CrN薄膜、抗氧化性

所属期刊栏目：34

分类号：TG174.44(金属学与热处理)

资助基金：扬州大学校科研和教改项目JK0313088

在线出版日期：2006-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：40-41,44