10.3969/j.issn.1001-3660.2002.06.009
脉冲真空电弧离子镀沉积速率的研究
薄膜沉积速率是影响薄膜性能的重要参数,研究它对于沉积优良的类金刚石薄膜具有重要的作用.针对脉冲真空电弧离子镀的具体工艺参数,研究了各种工艺参数对类金刚石薄膜沉积速率的影响,找出了影响类金刚石薄膜沉积速率的主要参数,得到了各种工艺参数下类金刚石薄膜沉积速率的曲线.
脉冲电弧、沉积速率、类金刚石薄膜
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TQ153
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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