钨钴硬质合金电化学蚀刻加工研究

摘要：

对YG6硬质合金电化学蚀刻工艺进行了研究,提出了采用光致抗蚀剂作保护膜,在生成一定钝化膜的情况下进行电化学蚀刻的方法.在一定的蚀刻深度范围内,该工艺的可控性好、腐蚀区表面质量较好.

关键词：电化学蚀刻、光致抗蚀剂、钨钴硬质合金

所属期刊栏目：31

分类号：TG178(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：32-33,36