类金刚石薄膜厚度的测量

摘要：

采用真空等离子沉积的类金刚石膜,它属于一种超薄性的薄膜.在诸多的测量方法中,本文采用了椭圆偏振光测量法来测量薄膜的厚度.该方法运用布鲁斯特角,并根据起偏器、检偏器和四分之一波片精确测量了薄膜的厚度.在测量薄膜厚度的同时也可知道所沉积膜的均匀性情况.

关键词：薄膜、厚度测量、PVD

所属期刊栏目：29

分类号：TQ15

在线出版日期：2006-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19