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10.3969/j.issn.1672-3732.2016.05.023

“中国激光微纳加工技术大会”在苏州圆满召开

引用
激光微纳加工是通过激光与材料相互作用,改变材料的物态和性质,实现微米至纳米尺度或跨尺度的控形与控性.由于激光微纳制造在能量密度、作用的空间和时间尺度、制造体吸收能量的可控尺度都可分别趋于极端,而使制造过程所利用的物理效应、作用机理完全不同于传统制造,其制造复杂结构的能力与品质远高于传统制造,由此产生了一批新技术(如光刻、近场纳米制造、干涉诱导加工、微焊接等)、一批新产品(如大规模集成电路、MEMS/NEMS等)、一批产品的高性能化(如航空发动机、燃气轮机、太阳能电池等)和相应的高新技术产业群.

中国、激光、加工技术、苏州、制造过程、时间尺度、大规模集成电路、高新技术、太阳能电池、能力与品质、航空发动机、作用机理、吸收能量、物理效应、微纳制造、微纳加工、燃气轮机、能量密度、纳米制造、纳米尺度

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G64;G47

2016-12-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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1672-3732

42-1870/TG

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2016,16(5)

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